ERS electronic宣布推出两款新型全自动Luminex系列设备:LUM300A1和LUM300A2,专为处理300毫米基板设计,采用光子解键合技术,提供高灵活性、生产能力和成本效益。这些设备在无应力解键合方面表现突出,并可节省超过30%运营成本,具备强大的晶圆、薄晶圆处理能力,每小时产出量至少为45个晶圆,并可与多种键合材料兼容。LUM300A1为解键合工艺提供量产型解决方案,LUM300A2还另外配有晶圆清洗模块。(美通社)
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