Park Systems进一步拓展大型AFM技术的边界

在2025年韩国半导体展览会上,Park Systems推出了扩展版FX大型样品AFM系列产品,包括用于300毫米晶圆分析的Park FX300,以及集成了红外(IR)光谱技术的Park FX200 IR和FX300 IR。FX大型样品AFM系列通过自动化的探针识别与更换、二维码系统以及AI驱动的激光对准功能,提升了可用性,实现了流畅操作。StepScan功能进一步提高了效率,使研究人员能够以最少的人工干预分析各种特性。(美通社)

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